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測量范圍
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電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm；
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可測晶片直徑
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Φ=200mm；
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恒流源
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電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調
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數字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；
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四探針探頭基本指標
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間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應用參數
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(見探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機測量*大相對誤差
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(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
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整機測量標準不確定度
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≤5%
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測試模式
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連接電腦使用可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試，不連接電腦情況下可進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏。
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消除測試過程中影響因素
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屏蔽和吸附測試，完全消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。
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標準使用環境
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溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
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