在生產六氟化硫氣體時，會伴有多種有毒氣體產生，并可能混入產品中；六氟化硫氣體在電氣設備中經電暈、火花及電弧放電作用，還會產生多種有毒、腐蝕性氣體及固體分解產物。這些氣體主要有氟化亞硫酸SOF2、氟化硫酰SO2F2、四氟化硫SF4、四氟化硫酰SOF4、二氧化硫SO2、十氟化二硫S2F10、一氧十氟化二硫S2F10O等；固體分解產物主要有氟化銅CuF2、二氧二甲基硅Si(CH3)2F2、三氟化鋁AlF3粉末等。這些分解產物都是直接與溫度、電路燃弧時間、各種雜質（如水分）及設備的各部件有關。SF6的氣態分解物可以用分子篩、蘇打石灰（NaOH及CaO各半混合物）或用活性氧化鋁（尤其是干的Al2O3）吸收。用蘇打石灰或氧化鋁時的*佳粒子大小是在8-12之間，其他大小也可使用。不可能事先確定可能產生的分解物數量及需要吸收這些產物的吸收劑用量。推薦使用吸收劑的用量相當于氣體重量的10%，將吸收劑放于接觸氣體*多的部位。如果液態和氣態的兩種SF6都有，則把吸收劑放于既能接觸液態也能接觸氣態的地方。如果不可能如此放置，則將其放在液態內，毒性分解物在工作場所的允許含量見下表：
注：表中TLV-TWA為物質加權濃度，選用美國ACGH（1978年）和NIOSH（1982年）公布的值。
中華人民共和國電力行業標準DL/T639-1997規定，在氣體采樣操作及處理滲漏時、設備解體時，在取出吸附劑清洗金屬和絕緣零部件時以及室內緊急事故必須進入現場時，應穿戴防護服和防護面罩等**防護用品。
本公司提供法國制造的SF6防護服有輕型防護服（防酸、防高溫液體）和德國制造的簡易型SF6氣體防護面罩。
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