主要特色:
- 可同时检测晶圆正反两面
- *大可检测 8 吋晶圆 (检测区域达10 吋范围 )
- 可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目
- 上片后晶圆自动对位机制
- 自动寻边功能可适用于不同形状之晶圆
- 瑕疵规格编辑器可让使用者自行编辑检测规格
- 瑕疵检出率高达 98%
- 可结合上游测试机晶粒资料,合并后上传至下一道制程设备
- 提供检测报表编辑器,使用者可自行选择适用资料并进行分析
技术规格:
7936双面晶圆检测机 由于使用的高速相机以及自行开发之检测演算法, 7936可以在4.5分钟内检测完2 吋 LED晶圆,换算为单颗处理时间为35msec。7936同时也提 供了自动对焦与翘曲补偿功能,以克服晶圆薄膜的翘曲与载盘的水平问题。7936可配置2种不 同倍率,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率。系统搭配的*小解析度为0.7um,一般来 说,可以检测2um左右的瑕疵尺寸。
系统功能
在扩膜之后,晶粒或晶圆可能会产生不规则的 排列,7936也提供了搜寻及排列功能以转正晶圆。此外,7936拥有人性化的使用介面可降低 学习曲线,所有的必要资讯,如晶圆分布、瑕疵 区域、检测参数及结果等,均可清楚地透过软体介面呈现。
瑕疵资料分析
所有的检测结果均会被记录下来,而不仅仅是 良品/**品的结果。这有助于找出一组*佳参数,达到漏判与误判的平衡点。瑕疵原始资料亦 有帮助于分析瑕疵产生之趋势,并回馈给制程人 员进行改善。
综合上述说明,Chroma 7936是晶圆检测制程考 量成本与效能的*佳选择。
选购附件:
Model
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Description
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7936
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双面晶圆检测系统
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主要销售:LCR测试仪,,信号发生器,数字存储示波器,绝缘电阻测试仪扭力扳手扭矩扳手耐压测试仪直流电阻测试仪数字电桥等等测量仪器,测试仪器,工具等。(点击关键词可进入相关产品目录)扭力测试仪瓶盖扭力测试仪数字电桥,扭力扳手
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咨询电话:021-530842187 -111
专线:18616355232 / 18602120232 包小姐/景小姐
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