测量范围
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电阻率:0.0001~2000Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.001~20000Ω/□(可扩展);
电导率:0.0005~10000 s/cm;
电阻:0.0001~2000Ω.cm;
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可测晶片直径
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Φ=200mm;
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恒流源
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电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调
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数字电压表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
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四探针探头基本指标
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间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
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四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证)
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模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整机测量*大相对误差
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(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
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整机测量标准不确定度
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≤5%
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测试模式
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连接电脑使用可对样品进行单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的全自动测试,不连接电脑情况下可进行单点、中心五点、边缘五点测试并把测试结果同时显示于显示屏。
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消除测试过程中影响因素
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屏蔽和吸附测试,完全消除光线和全自动测试过程中样品移动对样品测试的影响,保证测量的准确性。
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标准使用环境
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温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
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