主要特色：
- 可同時檢測晶圓正反兩面
- *大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區域達10 吋范圍 )
- 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
- 上片后晶圓自動對位機制
- 自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
- 瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
- 瑕疵檢出率高達 98%
- 可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備
- 提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析
技術規格：
7936雙面晶圓檢測機 由于使用的高速相機以及自行開發之檢測演算法， 7936可以在4.5分鐘內檢測完2 吋 LED晶圓，換算為單顆處理時間為35msec。7936同時也提 供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7936可配置2種不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。系統搭配的*小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。
系統功能
在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規則的 排列，7936也提供了搜尋及排列功能以轉正晶圓。此外，7936擁有人性化的使用介面可降低 學習曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區域、檢測參數及結果等，均可清楚地透過軟體介面呈現。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅僅是 良品/**品的結果。這有助于找出一組*佳參數，達到漏判與誤判的平衡點。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產生之趨勢，并回饋給制程人 員進行改善。
綜合上述說明，Chroma 7936是晶圓檢測制程考 量成本與效能的*佳選擇。
選購附件：
|
Model
|
Description
|
|
7936
|
雙面晶圓檢測系統
|
主要銷售：LCR測試儀,,信號發生器,數字存儲示波器,絕緣電阻測試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測試儀直流電阻測試儀數字電橋等等測量儀器，測試儀器，工具等。（點擊關鍵詞可進入相關產品目錄）扭力測試儀瓶蓋扭力測試儀數字電橋,扭力扳手
咨詢專線:
在訂貨前*好還是致電我們，以確定貨期和數量。
咨詢電話：021-530842187 -111
專線：18616355232 / 18602120232 包小姐/景小姐
本標題頁面：雙面晶圓檢測機
