主要特色:
Ø *大可檢測8" 晶圓 (檢測區域達10" 范圍 )
Ø 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
Ø 上片后晶圓對位機制
Ø 自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
Ø 瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
Ø 影像辨識成功率高達 98%
Ø 可結合上游測試機晶粒資料,合并后上傳至下一道制程設備
Ø 提供檢測報表編輯器,使用者可自行選擇適用資料并進行分析
Ø 適合LED、雷射二極體及影像感測器等產業
技術規格:
7935晶圓檢測系統為切割后自動化晶粒檢測機,使用先進的打光技術,可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產業。
由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法,7935可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內檢測完2"晶圓,換算為單顆處理時間為15 msec。7935同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能,以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7935可配置不 同倍率之物鏡,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇適當的檢測倍率。系統搭配的* 小解析度為0.35um,一般來說,可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。
選購附件:
Model
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Description
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7935
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晶圓檢測系統
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主要銷售:LCR測試儀,,信號發生器,數字存儲示波器,絕緣電阻測試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測試儀直流電阻測試儀數字電橋等等測量儀器,測試儀器,工具等。(點擊關鍵詞可進入相關產品目錄)扭力測試儀瓶蓋扭力測試儀數字電橋,扭力扳手
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